雾态气体产生：低压条件下，改变温度/压力，将纳米微粒固体/液体转变为雾态气体；
在专利设备中，雾态气体形式放电（见右图），形成全新材料。
优点——雾态气体相对于气态，组成元素及化合物选择范围广；
适用温度与压力范围宽；
单位体积，雾态气体反应物浓度＞单一气体
物理化学反应更容易进行，形成新型复合材料，有更高的效率。
例如：对化学合成纤维表面改性，接枝亲水极性基团；
高聚物、橡胶、玻璃纤维的材料表面处理，增加粘合性
对金属表面处理，形成Al/Ti/AlN/C/N/S/MoS2/WS2等单层或多层复合渗层；
2009年提交专利申请，国际知识产权局将于2010年公开
